曝三星正学术研究用于芯片生产的聚焦环新材料，考虑用 B4C 替代 SiC

品玩2月15日讯，TheElec 报道，Galaxy正试图研究成果和联合开发一种主要用途生产定位一个环（focus ring）的新材料。

定位一个环是晶片生产薄膜处理过程中都适用的商家。它将晶片浮动在合适的前面以持续保持带电粒子密度并预防晶片侧面受到酸雨。

只不过，石英和硅被主要用途生产定位一个环。但随着在先进晶片生产中都适用干法薄膜而不是湿法薄膜的情况大大减少，对由碳化硅（SiC）作成的定位一个环的需求也在增加。SiC 一个环比纯硅一个环更耐用，适用寿命极短，这有助于公司降低生产费用。SiC 一个环每 15 到 20 天所需改用一次，而硅一个环每 10 到 12 天所需改用一次。

Galaxy过去正试图寻找碳化硼（B4C）来替代 SiC。传言指，Galaxy目前正试图与拥有 B4C 相关技术的共同伙伴共同，对 B4C 定位一个环进行时数量级测试。B4C 韧性较高，这假定它们的单位适用时间极短。然而，Galaxy所需克服安全性问题。传言指，在局限性阶段，一个环表面出现了颗粒。传言还说，Galaxy还所需基准用 B4C 替代 SiC 的经济可行性。